ICP-MS是用于分析痕量甚至超痕量元素杂质的技术，因此目标分析物的背景必须尽可能低。否则，假阳性结果和检测限不足可能会导致常规实验室大量的后续工作。对于一些元素，例如稀土元素，环境中的天然丰度较低，因此在样品制备过程中使用的水、酸或样品瓶中可能不会发现背景污染。对于其他元素，尤其是碱、碱土和过渡族金属，如钠、钾、铁、铜或锌，可能会从塑料器皿（如瓶和瓶盖）中大量浸出。因此在不同批次或不同品牌之间进行更换时，强烈建议对样品瓶纯度进行初步浸出测试。低纯度酸也可能增加分析中元素背景。

      通常用于元素分析的酸和其他试剂，如硝酸、盐酸和过氧化氢等有不同的纯度，但对于使用ICP-MS的超痕量分析，应使用最高纯度试剂。作为替代方案，可以使用亚沸蒸馏去纯化低纯度的酸，这是提升酸纯度的一种经济有效的方法。另一个潜在的污染因素可能是用于制备稀释剂溶液的水。强烈建议定期检查微量元素，并定期维护纯水系统（根据制造商的建议）。对于痕量元素分析，建议尽可能使用电阻率为18.2MΩ的水。

     硝酸（HNO₃）通常用作元素分析的稀释剂。过氧化氢（H₂O₂）可实现对大部分有机基质（如食品、饲料）的有效分解。作为替代方案，高氯酸可用于增加酸混合物的氧化电位，但需格外小心，因为高氯酸与有机基质会发生强烈而迅速的反应。加入适量的盐酸（HCl）有利于解锁和稳定某些无机材料。例如王水（盐酸与硝酸以3：1的混合物）可有效溶解金属材料。盐酸还有助于稳定消解样品中的关键污染物，如汞和铂族金属。重要的是要确保HCl的浓度足够高（2%甚至更高），以便最初形成的沉淀（HgCl或HgCl₂）转化为可溶性氯络合物（HgCl₄^2-）。

     硫酸（H₂SO₄）对于在电热板和某些类型的高压消解系统中消化某些样品类型是有益的，但这种酸绝不应在微波与特氟龙容器一起使用，因为特氟龙在硫酸沸点的温度下熔化。此外，硫酸在ICP-MS中会产生额外的硫基质谱干扰，因此只有在没有替代品时才会使用。

      对于上述任何一种情况，在处理酸和其他危险化学品时应始终穿戴适当的个人防护设备。有关正确的酸或酸混合物、称样量和加酸量以及升温程序的详细指导，可以从实验室微波消解仪制造商处获得。

     TDS含量高的样品会导致ICP-MS信号抑制和漂移。ICP-MS中TDS含量典型上限在0.2%~0.5%（m/v）间。ICP-MS前端的特殊附件，例如用氩气稀释，可以直接引入高TDS含量的溶液，浓度超过3%~4%，不过这种方式仍是稀释，最终降低了灵敏度。这种附件的最大优点是可以省去前处理中的手动稀释步骤，从而节省操作人员的时间，减少稀释剂溶液产生的成本和浪费，防止污染并避免人为错误。然而，由于稀释气会改变ICP条件，因此需要固定批处理中所有标准品和样品的稀释因子。对于包含不同样品类型的批处理，这种有限的灵活性成为一个缺点，因为将稀释因子设置为能够测量较高基质样品时，较低基质样品将被过度稀释，从而导致方法检测限（MDL）变差并降低分析这些样品的准确性。

      如前所述，意识到来自实验室设备和化学品（污染）或其他样品（残留或交叉污染）的潜在背景是非常重要的。前者只能通过严格测试所有设备和不同批次的化学品来识别，而后者需要在两次运行之间采取有效的清洁策略才能到位。对于分析前需要消解的样品，应对每批次样品做方法空白，包括过程中使用的所有步骤和试剂，但不包括样品。通过这种方式，可以识别消化步骤中的任何潜在污染，追溯其来源并尽可能纠正，然后再对潜在的偏差结果进行故障排除甚至报告。表1概述了分析可能因污染或残留交叉污染而产生偏差的常见原因。

      通常由于样品信息有限，因此无法立即识别是否是质谱干扰。有时样品中其它无需定量的基质元素会导致一系列困难，这些困难往往是在分析样品时才被识别出来，一是基质干扰物造成令人费解的结果，二是后续样品也可能受到残留污染的影响。为了未知的样品造成困惑之前识别出它们引起的此类潜在挑战，建议遵循以下几个简单的步骤。

      为了发现基质元素或具有挑战性的干扰物，运行半定量扫描可以很好地表征高基质元素或指示可能存在质谱干扰。使用比平时稍高的稀释倍数可以保护仪器免受持续污染。造成令人费解的结果的往往是遇到非典型的质谱干扰。例如双电荷离子干扰。稀土元素钕（Nd）、钐（Sm）或钆（Gd）的双电荷干扰会对砷 （¹⁵⁰Nd²⁺和¹⁵⁰Sm²⁺）和硒（^156，160Gd²⁺）存在干扰，当然ICP-MS/MS能够可靠地消除这些干扰。双电荷干扰也可能影响内标校正。例如，如果样品中铅含量较高，²⁰⁶Pb2+可能影响¹⁰³Rh⁺。在这种情况下，干扰不会对样品本身造成偏差，而是间接导致内标响应的问题。